High Pure 99,8 % titankvalitet 7 runder sputtermål ti legeringsmål for beleggfabrikkleverandør
Produktparametere
Produktnavn | Titanmål for pvd-beleggmaskin |
Karakter | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)Legeringsmål: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc |
Opprinnelse | Baoji by Shaanxi-provinsen Kina |
Titaninnhold | ≥99,5 (%) |
Urenhetsinnhold | <0,02 (%) |
Tetthet | 4,51 eller 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Størrelse | 1. Rundt mål: Ø30--2000mm, tykkelse 3,0mm--300mm;2. Platemål: Lengde: 200-500mm Bredde:100-230mm Tykkelse:3--40mm;3. Rørmål: Dia:30-200mm Tykkelse:5-20mm Lengde:500-2000mm;4. Tilpasset er tilgjengelig |
Teknikk | Smidd og CNC-maskinert |
Søknad | Halvlederseparasjon, filmbeleggmaterialer, lagringselektrodebelegg, sputteringbelegg, overflatebelegg, glassbeleggingsindustri. |
Kjemiske krav til titanmål
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementært innhold (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Andre | ||||
Titanium Pure | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Gr.2 | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitaniumLegering | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Gr.7 | TA9 | Klasse 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
Gr.12 | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo: 0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 |
Langsgående mekaniske egenskaper ved romtemperatur
Karakter | StrekkstyrkeRm/MPa(>=) | FlytestyrkeRp0,2(MPa) | ForlengelseA4D(%) | Reduksjon av arealZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titanium sputtering mål
Den vanlige størrelsen på titan-sputtermålet: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 osv.
Kan også tilpasse i henhold til kundens forespørsler eller tegninger
Målkrav: høy renhet, jevne krystallkorn og god kompakthet.
Renhet: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Titanium Target Produksjonsprosess
titansvamp --- smeltet til titanblokk --- test ---skjæring --- smiing ---rulling ---avskalling --- retting ---ultralyd feildeteksjon --- pakking
Titanium mål funksjoner
1. Lav tetthet og høy spesifikasjonsstyrke
2. Utmerket korrosjonsbestandighet
3. God motstand mot effekten av varme
4. Utmerket peiling til Cryogenics Property
5. Ikke-magnetisk og ikke-giftig
6. Gode termiske egenskaper
7. Lav elastisitetsmodul