Høy ren 99,8% Titanium Grade 7 Runder Sputtering Mål Ti -legeringsmål for beleggfabrikkleverandør
Produktparametere
Produktnavn | Titanmål for PVD -beleggsmaskin |
Karakter | Titan (GR1, GR2, GR5, GR7, GR12)Legeringsmål: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr osv |
Opprinnelse | Baoji City Shaanxi -provinsen Kina |
Titaninnhold | ≥99,5 (%) |
Urenhetsinnhold | <0,02 (%) |
Tetthet | 4.51 eller 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Størrelse | 1. Rundt mål: Ø30--2000mm, tykkelse 3,0 mm-300mm;2. Plate Targe: Lengde: 200-500mm Bredde: 100-230mm Tykkelse: 3--40mm;3. Rørmål: Dia: 30-200mm Tykkelse: 5-20mm Lengde: 500-2000mm;4. Tilpasset er tilgjengelig |
Teknikk | Smidd og CNC maskinert |
Søknad | Halvlederseparasjon, filmbeleggmaterialer, lagringselektrodebelegg, sputteringbelegg, overflatebelegg, glassbeleggindustri. |
Kjemiske krav til titanmål
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementært innhold (≤ wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Andre | ||||
Titan rent | Gr.1 | Ta1 | Klasse1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Gr.2 | Ta2 | Klasse2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitanLegering | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | AL: 5,5-6,75 V: 3,5-4,5 |
Gr.7 | Ta9 | Klasse12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | PD: 0,12-0,25 | |
Gr.12 | Ta10 | Class60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | MO: 0.2-0.4 NI: 0,6-0,9 |
Longitudinelle mekaniske egenskaper ved romtemperatur
Karakter | StrekkfasthetRM/MPA (> =) | AvkastningsstyrkeRP0.2 (MPA) | ForlengelseA4D (%) | Reduksjon av områdetZ (%) |
GR1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
GR12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titan -sputtering mål
Den vanlige størrelsen på titan -sputtermålet: φ100*40, φ98*40, φ95*45, φ90*40, φ85*35, φ65*40 etc.
Kan også tilpasse i henhold til kundenes forespørsler eller tegninger
Målkrav: høy renhet, ensartede krystallkorn og god kompakthet.
Renhet: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Titanium Target Production Process
Titan-svamp --- Smeltet til Titanium Ingot --- Test --- å kutte ingot --- smiing --- Rulling --- Peeling --- Retting --- Ultralydfeildeteksjon --- Pakking
Titanium målfunksjoner
1.
2. Utmerket korrosjonsmotstand
3. God motstand mot virkning av varme
4. Utmerket peiling til Cryogenics -eiendom
5. Ikke-magnetisk og ikke-giftig
6. Gode termiske egenskaper
7. Lav elastisitetsmodul