Høyrent 99,8 % titan grad 7 sputteringsmål ti-legeringsmål for beleggfabrikkleverandør
Produktparametere
Produktnavn | Titanmål for PVD-beleggmaskin |
Karakter | Titan (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legeringsmål: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc |
Opprinnelse | Baoji by Shaanxi-provinsen Kina |
Titaninnhold | ≥99,5 (%) |
Urenhetsinnhold | <0,02 (%) |
Tetthet | 4,51 eller 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Størrelse | 1. Rundt mål: Ø30–2000 mm, tykkelse 3,0 mm–300 mm;2. Platemål: Lengde: 200-500 mm Bredde: 100-230 mm Tykkelse: 3--40 mm;3. Rørmål: Diameter: 30–200 mm Tykkelse: 5–20 mm Lengde: 500–2000 mm;4. Tilpasset er tilgjengelig |
Teknikk | Smidd og CNC-maskinert |
Søknad | Halvlederseparasjon, filmbeleggmaterialer, belegg av lagringselektroder, sputteringbelegg, overflatebelegg, glassbeleggindustri. |
Kjemiske krav til titanmål
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementært innhold (≤ vekt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Andre | ||||
Titanium Pure | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
2. trinn | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitanLegering | 5. trinn | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5–6,75 V:3,5–4,5 |
7. trinn | TA9 | Klasse 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12–0,25 | |
Gr.12 | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Måned: 0,2–0,4 Ni: 0,6–0,9 |
Langsgående mekaniske egenskaper ved romtemperatur
Karakter | StrekkfasthetRm/MPa(>=) | FlytegrenseRp0,2 (MPa) | ForlengelseA4D (%) | Reduksjon av arealZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titan-sputteringsmål
Vanlige størrelser på titan-sputtermål er: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 osv.
Kan også tilpasses etter kundens forespørsler eller tegninger
Målkrav: høy renhet, ensartede krystallkorn og god kompakthet.
Renhet: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Produksjonsprosess for titanmål
titansvamp --- smeltet til titanbarre --- test --- skjæring av barren --- smiing --- valsing --- avskalling --- retting --- ultralydfeildeteksjon --- pakking
Funksjoner i titanmål
1. Lav tetthet og høy spesifikasjonsstyrke
2. Utmerket korrosjonsbestandighet
3. God motstand mot varmepåvirkning
4. Utmerket bæreevne for kryogeniske egenskaper
5. Ikke-magnetisk og giftfri
6. Gode termiske egenskaper
7. Lav elastisitetsmodul